管ç†ä¸Šçš„改进å¯ä½¿åˆ©æ¶¦è¾¾åˆ°æœ€å¤§åŒ–
ä¸æ–创新并实现高质é‡åŠ 速æˆé•¿æ˜¯æˆåŠŸå…¬å¸æœ‰åˆ«äºŽå…¶ç«žäº‰å¯¹æ‰‹çš„最é‡è¦çš„能力。
《硅åŠå¯¼ä½“》æ‚志的马克"¢å®‰å¾·é²æ–¯æŽ¢ç©¶äº†å„ç§åˆ¶é€ 执行系统(MES)的应用,包括西门åçš„CamstaråŠå¯¼ä½“行业套件。他得出结论就是,
该解决方案使快速å˜åŒ–çš„åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ ä¸šå¾—ä»¥å®žçŽ°ç”Ÿäº§æŽ§åˆ¶ã€å¯è§æ€§å’ŒæŒç»æ”¹è¿›ã€‚
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《Silicon Semiconductor》æ‚å¿—çš„Mark Andrews å¯¹åˆ¶é€ æ‰§è¡Œç³»ç»Ÿï¼ˆMES)管ç†è½¯ä»¶ï¼ŒåŒ…括西门åå…¬å¸ PLM 软件ä¸é«˜æ•ˆèƒ½Camstar åŠå¯¼ä½“套件(CSSï¼‰çš„åº”ç”¨æƒ…å†µè¿›è¡Œäº†è°ƒç ”ã€‚è¥¿é—¨åå…¬å¸çš„è¿™ç§åˆ¶é€ 执行管ç†ï¼ˆMOM)软件产å“å¯ä»¥å®žçŽ°å¯¹åŠå¯¼ä½“å·¥è‰ºåˆ¶é€ è¿‡ç¨‹çš„å„个层é¢è¿›è¡ŒæŽ§åˆ¶ã€ç›‘视å'ŒæŒç»çš„改进。
ä½ æ£åœ¨è¢«ç«žäº‰ç”©åœ¨åŽé¢å—?
å¦‚æžœä½ å…¬å¸æ‰€ä½¿ç”¨çš„åˆ¶é€ æ‰§è¡Œç³»ç»Ÿï¼ˆMES)已ç»è¶…过七年的è¯ï¼Œè¯¥é—®é¢˜çš„ç”案将å¯èƒ½ä¸º"是"。一个æ-°çš„MES系统å¯ä»¥åœ¨ä¸é™ä½Žäº§å“è´¨é‡çš„å‰æ下æ¥æ供快速的应å˜èƒ½åŠ›"”"”在如今的全çƒå¸‚场ä¸è¿™å°†å…·æœ‰å†³å®šæ€§çš„优势。
åŠå¯¼ä½“工业æ£åœ¨ç¨³å®šåœ°å¢žé•¿ï¼Œæ ¹æ®Gartnerçš„ç ”ç©¶æŠ¥å‘Šï¼Œå…¨çƒåŠå¯¼ä½“销售é¢æœ‰æœ›åœ¨2015年增长5.4%,达到3580亿美元。[http://www.gartner.com/newsroom/id/2962117]ï¼Œç ”ç©¶æ˜¾ç¤ºé©±åŠ¨è¿™ä¸€å¢žé•¿çš„æºç”±æ˜¯æ¥è‡ªäºŽæ±½è½¦ã€é€šä¿¡å'Œæ™ºèƒ½æ¶ˆè´¹äº§å“。
æ-°äº§å“çš„ä¼ ç»Ÿåˆ›æ-°å‘¨æœŸæ£åœ¨è¿…速缩çŸï¼Œä¸Žæ¤åŒæ—¶ï¼Œæ¶ˆè´¹è€…对于产å“ä»·æ ¼å°†å˜å¾—æ›´åŠ æ•æ„Ÿï¼Œå¹¶ä¸”需è¦æ›´ä¸ºæ-°é¢-的高质é‡äº§å“ã€‚ä¸ºäº†å®žçŽ°è¿™ä¸ªç›®æ ‡ï¼ŒåŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†å¿…é¡»å…·æœ‰é«˜åº¦çµæ´»å'Œå¿«é€Ÿçš„å应能力,具有å¯ä»¥å¤§æ‰¹é‡ã€é«˜è´¨é‡æŒç»ç”Ÿäº§å…·æœ‰åˆ›æ-°æ€§å¤æ‚产å“的能力。
åŠ é€Ÿåˆ›æ-°èƒ½åŠ›æ˜¯å°†æˆåŠŸçš„å…¬å¸ä¸Žå…¶ç«žäº‰è€…区分开æ¥çš„é‡è¦å› ç´ ã€‚ç›¸æ¯”äºŽä»¥å¾€ä»»ä½•æ—¶å€™ï¼ŒåŠå¯¼ä½“å…¬å¸æ›´åŠ 需è¦èƒ½æ—¶åˆ»ä¿æŒä½äºŽæŠ€æœ¯æ›²çº¿é¡¶ç«¯çš„领先ä½ç½®ï¼Œæ¥å‘客户æ供能满足其期望的产å“。
è¾¾åˆ°è¿™ä¸ªç›®æ ‡çš„ä¸€ç§é€”径是需è¦æ¶ˆé™¤å³ä½¿æ˜¯å¤§å…¬å¸ä¹Ÿä¼šé‡åˆ°çš„éšœç¢ã€‚尽管从商业开å‘到售åŽæœåŠ¡ä¸çš„å„ç§å› ç´ éƒ½ä¼šèµ·ä½œç”¨ï¼Œä½†ç›¸æ¯”äºŽé‚£äº›è¿˜åœ¨"凑åˆ"ç€ä½¿ç”¨å·²ç»è¿‡æ—¶çš„ã€æ•ˆçŽ‡ä½Žä¸‹ç®¡ç†ç³»ç»Ÿçš„ç«žäº‰è€…è€Œè¨€ï¼Œå¯¹åˆ¶é€ æ‰§è¡Œç³»ç»Ÿï¼ˆMES)进行å‡çº§å¹¶å®žçŽ°åˆ©ç”¨æœ€å¤§åŒ-将会具有关键性的优势,
ç›®å‰çš„状况
在度过了自2008年开始的全çƒç»æµŽä¸æ™¯æ°”之åŽï¼ŒåŠå¯¼ä½“å…¬å¸é€æ¸æ¢å¤äº†å¯è§‚的增长,如今已æ„识到ä»-们需è¦æ›¿æ¢é™ˆæ—§çš„MES管ç†ç³»ç»Ÿï¼Œå› 为旧的系统缺ä¹åº”对现在产å“所需è¦çš„çµæ´»æ€§ã€‚åŠå¯¼ä½“生产包括了数百é“ç¹å¤è€Œåˆç²¾ç»†çš„åŠ å·¥æ¥éª¤ï¼Œå¹¶ä¸”这些æ¥éª¤æ˜¯åˆ†æ•£åœ¨å¤šä¸ªä¸åŒçš„åŠ å·¥ä½ç½®ç‚¹æ¥è¿›è¡Œçš„。少许的工艺错误å'Œåœ¨ç”Ÿäº§åŠ 工时间上的延迟就å¯èƒ½ä¼šç»™åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†å¸¦æ¥å·¨å¤§çš„æŸå¤±
Fairchild åŠå¯¼ä½“å…¬å¸å…¨çƒåˆ¶é€ 系统(GMS)部门的信æ¯æŠ€æœ¯æ€»ç›‘,Harold Caldwell 先生在由Iyno Advisors 组织的 MES PESB 会议上表示:"[旧的系统] 在快速å“应用户需求上é¢ä¸´ç€çš„挑战,这些用户æ¥è‡ªäºŽåˆ¶é€ 业ã€å·¥ç¨‹ç•Œã€è´¨é‡éƒ¨é—¨ã€ä¾›åº”链ã€é‡‘èžå'Œå…¶å®ƒé¢†åŸŸ" 。
很多åŠå¯¼ä½“å…¬å¸å‘现了ä»-们在MES应用上所é‡åˆ°çš„最大问题,å³æ˜¯å¯¹å‰é“å'ŒåŽé“工艺ä¸èƒ½å¦ä¿è¯ä¸åŒåˆ¶é€ 系统间的æŒç»æ€§é—®é¢˜ã€‚è¿™ç§"系统æ-å¼€"在工艺æµç¨‹ã€å¯è¿½æº¯æ€§å'Œå¸‚场时效性上会产生å„ç§å„æ ·çš„é—®é¢˜ã€‚
åˆ¶é€ å•†ä»¬éœ€è¦å¯¹ç”Ÿäº§è¿‡ç¨‹è¿›è¡Œæ›´å¼ºçš„整体监控以åŠæ›´é«˜è´¨é‡çš„äº'动,以能更快地对工艺åšå‡ºè°ƒæ•´ï¼Œå¹¶å¯¹å…¶å¿«é€Ÿçš„å˜åŒ-åšå‡ºæœ‰æ•ˆçš„å“应。为了确ä¿ä»-们在å„ç§ä¸åŒçš„市场能以更少的工作é‡å'Œæ›´ä½Žçš„æˆæœ¬æ¥æ»¡è¶³é«˜ç‰çº§çš„æœŸæœ›å€¼ï¼Œåˆ¶é€ å•†å¿…é¡»æŠ“ä½è¿™ç§æ”¹å˜å'Œè°ƒæ•´çš„机会,以能在整个增长ç€çš„å…¨çƒå¸‚场ä¸æ¥æ˜¾çŽ°ä»-们的地ä½ã€‚
处于领先地ä½çš„åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†æ£åœ¨ç§¯æžåœ°è¿›è¡Œå˜é©ï¼Œå¹¶æ£åœ¨æŠ•èµ„å¼€å‘一ç§ç»Ÿä¸€çš„全局性的生产ä¼ä¸šç®¡ç†ç³»ç»Ÿï¼Œå®ƒèƒ½å¤Ÿå¯¹ä»Žæ™¶åœ†åˆ°æˆå“端对端的工艺进行管ç†ã€‚一些具有多个生产场所ã€å˜åŒ-的生产环境å'Œå…¨çƒæ€§å®¢æˆ·æœåŠ¡åŸºåœ°çš„åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†å·²ç»å¯¹çŽ°ä»£çš„MES管ç†æŠ€æœ¯è¡¨çŽ°å‡ºäº†å…´è¶£ï¼Œå¦‚今ä»-们å¯ä¸å†å—到自动åŒ-å¤å²›å'Œäº'ä¸è¿žæŽ¥ç³»ç»Ÿçš„é™åˆ¶ï¼Œä»-们现在å¯ä»¥è‡ªç”±åœ°è¿›è¡Œåˆ›æ-°ã€è°ƒæ•´å¹¶ä¸”获得æˆåŠŸã€‚
从先进的全局性MESä¸èƒ½èŽ·å¾—什么
åŠå¯¼ä½“å…¬å¸å¦‚果想è¦é‡‡ç”¨å•ä¸€è§£å†³æ-¹æ¡ˆæ¥å¯¹ä»Žå‰é“到åŽé“的生产工艺实现管ç†çš„è¯ï¼Œåº”该主è¦è€ƒè™‘MES管ç†å¹³å°çš„å‡ ä¸ªå…³é”®æ€§ç‰¹å¾ï¼šè¯¥è§£å†³æ-¹æ¡ˆå¿…须包括有开箱å³ç”¨çš„功能;它需è¦æ供最高ç‰çº§çš„å¯é…置性,并且能与其它商业åŒ-应用系统现实全é¢çš„äº'è”äº'通;它必须能æä¾›å³æ—¶çš„智能åŒ-ä¿¡æ¯ï¼›èƒ½åŒ…括从测试结果ã€è‰¯å“率到统计质é‡æŽ§åˆ¶çš„所有信æ¯ã€‚除æ¤ä¹‹å¤-,它还è¦èƒ½ä¸Žè‡ªåŠ¨åŒ-设备å'Œå•å…ƒæŽ§åˆ¶å™¨è¿›è¡Œé›†æˆæ¥æå‡äº§å“的产é‡å'Œè´¨é‡ã€‚任何一个对åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†çš„æ-°MES应用还应该包括其应对市场å˜åŒ-的能力,还è¦åŒ…括能够整åˆè¿›MES管ç†ç³»ç»Ÿçš„åˆ¶é€ æ‰§è¡Œç®¡ç†ï¼ˆMOM)软件包,以åŠè¿˜è¦åŠ 上å分有用的对质é‡å'Œç”Ÿäº§æµç¨‹çš„管ç†èƒ½åŠ›ä»¥åŠèƒ½å…ˆè¿›åœ°å®‰æŽ'生产计åˆ'åŠå…¶è¿›åº¦çš„能力。
对å˜åŒ-进行管ç†æ˜¯å¦ä¸€ä¸ªéœ€è¦è€ƒè™‘çš„å…³é”®å› ç´ ï¼ŒåŠå¯¼ä½“å…¬å¸æ¯å‘¨è‡³å°‘会åšå‡ºæ•°ç™¾é¡¹æœ‰å…³äº§å“å'Œå·¥è‰ºä¸Šçš„å˜åŒ-。利用统一的现代åŒ-ä¼ä¸šç®¡ç†å¹³å°ç»“构,公å¸é€šè¿‡æŽ§åˆ¶ä¸å¿ƒä¸‹è¾¾æŒ‡ä»¤å°±å¯ä»¥åœ¨ä¸€ä¸ªæˆ-多个生产场所一次性地实现对生产工艺å˜åŒ-的平稳调整。这ç§æŽ§åˆ¶èƒ½åŠ›å¯ä»¥èŠ‚çœæ—¶é—´å¹¶ä¸”å¢žåŠ äº†æ•´ä¸ªä¼ä¸šå†…部的å调性å'Œä¸€è‡´æ€§ã€‚
é™ä½ŽMESå‡çº§æ—¶çš„风险
在高度å¤æ‚çš„åŠå¯¼ä½“生产环境当ä¸ï¼Œåœ¨æ—§æœ‰ç³»ç»Ÿä»¥ä¸åœæœºæ-¹å¼è½¬æ¢åˆ°æ-°ç³»ç»Ÿçš„过程ä¸ï¼Œå¿…é¡»è¦åˆ¶å®šè½¬æ¢è®¡åˆ'æ¥å¯¹æ•°æ®çš„转移进行追踪å'Œç¡®è®¤ã€‚MES管ç†ç³»ç»Ÿçš„供应商应该æ供软件工具使得在转æ¢è¿‡ç¨‹ä¸å¯ä»¥å®žçŽ°ä¸¤å¥—系统的平行æ“作。
推è
在这个æ-°çš„ã€å¿«é€Ÿå˜åŒ-çš„è¡Œä¸šæ ¼å±€å½“ä¸ï¼Œä¸ºæ•´ä¸ªç”Ÿäº§ç½‘络æ供基础功能的设æ-½éœ€è¦æœ‰é«˜åº¦çš„çµæ´»æ€§ï¼ŒåŒæ—¶è¿˜è¦ä¿æŒå¯æŽ§åˆ¶æ€§ä»¥åŠèƒ½å®žçŽ°æŒç»æ”¹è¿›çš„高度智能性。
很有必è¦æ¥ç ”究一下关于MES的选项。这è¦ä»Žç¡®è®¤å¯Œæœ‰ç»éªŒçš„供应商开始,这些供应商应该è¦æœ‰ä¸ŽåŠå¯¼ä½“工业åˆä½œçš„ç»åŽ†ï¼Œè¦ç¡®ä¿ä¾›åº”商已ç»æœ‰äº†"å¯å‚ç…§"的客户。在æŸç§æƒ…å†µä¸‹ï¼Œä½ å¯ä»¥åœ¨ä¸€ä¸ªéžç«žäº‰é¢†åŸŸä¸æ¥é€‰æ‹©è¯¥ä¾›åº”商的一个客户进行一次实地考察。
优势
使用现代åŒ-MES的最大的优势是它能够å分容易地与主è¦å•†ä¸šåŒ-管ç†ç³»ç»Ÿå'Œè½¦é—´ä¸çš„工艺设备实现集æˆæ•´åˆï¼Œå¯ä»¥ç”¨ä¸€ä¸ªæ ‡å‡†åŒ-的解决æ-¹æ¡ˆæ¥å®žçŽ°å…¨å±€æ€§çš„æ“作。这ç§æ-°çš„ä¼ä¸šç®¡ç†ç³»ç»Ÿå¿…é¡»è¦èƒ½æ”¯æŒä»¥ä¸‹6ä¸ªæ ¸å¿ƒåŠŸèƒ½ï¼š
æ ‡å‡†åŒ-:建立一个统一的平å°ï¼Œç”±ä¸å¿ƒæ¥æŽ§åˆ¶åˆ¶é€ 工艺,管ç†æ•°æ®ä»¥åŠåº”对局部å˜åŒ-进行指导。
äº'è”性:建立一个共åŒçš„äº'è”通讯平å°ï¼Œä½¿ä½äºŽå„场所的工艺设备å¯å¦‚åŒåœ¨ä¸€ä¸ªè™šæ‹Ÿçš„æ•´ä½“å·¥åŽ‚ä¸€æ ·å®žçŽ°æ— ç¼æ“作。
å¯æŽ§åˆ¶æ€§ï¼šæŒ‰ç…§è®¾è®¡æ¥ç”Ÿäº§äº§å“,能够æ•æ‰åˆ°ç”Ÿäº§è¿‡ç¨‹ä¸çš„工艺å˜åŒ-,并且对缺陷快速地åšå‡ºç›¸åº”的控制。
æŒç»æ€§å·¥è‰ºæ”¹è¿›ï¼šæ”¯æŒå›½é™…性的全局æŒç»æ€§å·¥è‰ºæ”¹è¿›ç½‘络。一旦åšå‡ºäº†æ”¹è¿›ï¼Œæ‰€æ‰¹å‡†çš„工艺å˜åŒ-在一个地点实æ-½çš„åŒæ—¶ï¼Œå¯åŒæ¥åˆ°å…¨çƒçš„其它工厂网络。
简å•åŒ-ï¼šåˆ›é€ ä¸€ä¸ªç›´è§‚æ˜“ç”¨çš„ç®¡ç†ç³»ç»Ÿï¼Œé™ä½Žå¯¹ä¸åŒæ°´å¹³å'ŒèƒŒæ™¯ä½¿ç”¨è€…çš„å¦ä¹ 难度,并且能促进相äº'é—´çš„åˆä½œã€‚
åŠ é€Ÿæ€§ï¼šå……åˆ†åˆ©ç”¨æ-°å¹³å°çš„å„个æ-¹é¢æ¥åŠ 速优质产å“推å‘市场的过程,并åšæŒä¸æ‡ˆåœ°å¯¹å®ƒä»¬è¿›è¡Œæ”¹è¿›ã€‚
一个具有全局性的生产ä¼ä¸šç®¡ç†å¹³å°æ供了很多æ-°çš„å‘展机é‡ï¼Œå¹¶ä¸”å¯ä»¥å…‹æœé™ˆæ—§MES管ç†ç³»ç»Ÿæ‰€å¸¦æ¥çš„在æˆæœ¬ã€å±€é™æ€§ä¸Šçš„é£Žé™©ï¼Œå› ä¸ºè¿™äº›é™ˆæ—§çš„MES通常是自我开å‘çš„å¤ç«‹ç³»ç»Ÿã€‚将所有æ“作å½'结到一个系统ä¸å°±èƒ½å¤Ÿå®žçŽ°æµæ°´çº¿åŒ-的精简æ“作并å¯ä»¥ç›‘控整个生产过程。
è¿™ç§æ-°ç³»ç»Ÿå¯ä»¥ä¿è¯åœ¨å·¥åŽ‚å'ŒåŽé“åŠ å·¥ä¹‹é—´ä¸ä¼šæœ‰æ•°æ®çš„丢失,采用å•ä¸€åŒ-的系统å¯ä»¥ç¼©çŸäº§å“推å‘市场的时间并且é™ä½Žç»è¥æˆæœ¬ã€‚采用æ-°MES管ç†ç³»ç»Ÿçš„åŠå¯¼ä½“åˆ¶é€ å•†å¯ä»¥å¿«é€Ÿåœ°ä½¿åˆ¶é€ 执行系统平å°å®žçŽ°æŠ•èµ„回报(ROI)的最大åŒ-。çµæ´»å¹¶ä¸”å¼ºå¤§çš„åˆ¶é€ ç®¡ç†ç³»ç»Ÿå¯ä»¥è¿žæŽ¥å…¨çƒèŒƒå›´å†…的多个生产场所。使用现代åŒ-çš„MES并æé…有效的MOM能使一个公å¸æˆä¸ºå¸‚场领è¢-ï¼Œæ ‘ç«‹èµ·æ›´é«˜çš„è¡Œä¸šæ ‡æ†ï¼Œç”±MES所带æ¥çš„高效率将会帮助ä»-们æ¥æ»¡è¶³å®¢æˆ·çš„需求并且ä¸æ-创æ-°å¼€æ‹“未æ¥ã€‚
推è的特性包括: |
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管ç†å¤æ‚的工艺 | å¯ä»¥å¯¹å¤æ‚的工艺状况实现追踪,包括对废弃ã€è¿”å·¥å'Œæ‰¹æ¬¡åˆ†å‰²çš„å„个晶圆实现全æ-¹ä½çš„追踪"”"”甚至是当工艺è¦æ±‚在å„个批次之间å'Œæ²¡æœ‰æ‰¹æ¬¡åˆ†å‰²çš„设备之间å˜åœ¨å¤šå¯¹å¤šçš„关系时。 |
完全的å¯è¿½æº¯æ€§ | æ‰€æœ‰åˆ¶é€ æ‰¹æ¬¡ã€æ™¶åœ†å'Œåºåˆ—åŒ-å•å…ƒå‡èƒ½å®žçŽ°ç³»ç»Ÿè¿½è¸ªï¼Œè¦†ç›-ä»Žæ™¶åœ†åˆ¶é€ ã€ä¸é—´æµ‹è¯•ã€ç»„装ã€ä¸€ç›´åˆ°å°æµ‹çš„å…¨è¿‡ç¨‹ã€‚åœ¨æ•´ä¸ªåˆ¶é€ è¿‡ç¨‹ä¸å…·æœ‰æä¾›å‰æ‰€æœªæœ‰çš„监视å'ŒæŽ§åˆ¶èƒ½åŠ›ã€‚å¯ä»¥æ ¹æ®åŠ 工批次ã€æ™¶åœ†ã€åºåˆ—å·æ¥æ”¶é›†æ•°æ®ï¼Œä¹Ÿå¯ä»¥æ˜¯è¿™äº›æ•°æ®çš„组åˆã€‚ |
集æˆåŒ-è®¾å¤‡ç»´æŠ¤ç®¡ç† | 对于基本设备å'Œæ¬¡çº§è®¾å¤‡é—®é¢˜å¯æä¾›å‰çž»æ€§çš„解决æ-¹æ¡ˆï¼Œä¼˜åŒ-设备的调度安æŽ'。 |
控制çµæ´»é¢„防性维护 | æ供对设备具有覆ç›-性å'Œçº§è”性的预防性维护,å³ç”¨æ¯æœˆçš„预防性维护(PM) æ¥æ›¿ä»£æ¯å‘¨çš„维护。 |
应对å˜åŒ-çš„ç®¡ç† | 能快速适应大批é‡ç”Ÿäº§ä¸çš„å˜åŒ-。对于必须在全çƒå¤šä¸ªç”Ÿäº§åœ°ç‚¹å¯¹å¤æ‚产å“çš„å˜åŒ-进行统一åè°ƒçš„åˆ¶é€ å•†è€Œè¨€ï¼Œè¿™ä¸€ç‰¹å¾å°†æ˜¯ä¸€ä¸ªå¯ä»¥æ”¹å˜è¡Œä¸šæ ¼å±€åŠŸèƒ½ã€‚ |
先进计åˆ'å'Œè°ƒåº¦èƒ½åŠ› | å¯ä»¥æ ¹æ®å°å…¬å¸åˆ°å¤§å…¬å¸çš„ä¸åŒéœ€æ±‚æ¥é…ç½®çµæ´»çš„æ•°æ®æ¨¡åž‹å'Œè°ƒåº¦é€»è¾‘。å¯ä»¥æ·»åŠ æˆ-改å˜ä¿¡æ¯ç»„å'Œæ•°æ®è¡¨ã€‚为了与其它多个站点的系统实现紧密的集æˆï¼Œå¯ä»¥å®‰è£…独特的æŽ'åºè§„则。 |
统计工艺控制(SPC) | åœ¨åˆ¶é€ è¿‡ç¨‹ä¸æ‰€æ”¶é›†çš„缺陷数æ®èƒ½ä½¿åˆ¶é€ 商在生产过程ä¸æ¥è¯†åˆ«ã€åˆ†æžå'Œè§£å†³æ½œåœ¨çš„工艺问题,以ä¿è¯ç”Ÿäº§çš„è¿žç»æ€§ï¼Œé˜²æ¢è®¾å¤‡åœæœºã€ææ-™æµªè´¹å'Œåœ¨ç”Ÿäº§æ—¶é—´ä¸Šçš„æŸå¤±ã€‚ |
工艺的自动åŒ-控制 | å¯å°†å·¥åŽ‚ä¸çš„多å°è®¾å¤‡é›†æˆåˆ°MESä¸ï¼Œèƒ½æ供全自动åŒ-控制ã€çŠ¶æ€ç›‘测ã€ç‰©æ-™è·Ÿè¸ªå'Œæ•°æ®æ”¶é›†ã€‚ |
设备的自动åŒ- | 详细的资æºè¿½è¸ªæ”¯æŒSEMI的《åŠå¯¼ä½“设备ææ-™å议(SEMI E10)》。 |
工作æµç¨‹çš„建模 | 在用户界é¢åº”用æ‹-å…¥å'Œæ‹-放工具,å¯ä»¥å¾ˆå®¹æ˜“地建立动æ€å·¥è‰ºè·¯çº¿ï¼Œå¢žåŠ æ-°çš„æ¥éª¤ï¼Œæ”¹å˜ç”Ÿäº§è¦æ±‚,å˜åŒ-客户的订å•ï¼Œæ‰€æœ‰è¿™äº›éƒ½ä¼´éšæœ‰ç‰ˆæœ¬çš„控制å'Œå®¡æŸ¥çš„跟踪。 |
è°ƒåº¦ç®¡ç† | å‘æ“作者显示由生产计åˆ'å'Œè°ƒåº¦æ‰€è§„å®šçš„åŠ å·¥è¿›ç¨‹ä¼˜å…ˆçº§ã€‚é€šè¿‡æŒ‡ç¤ºæ“作员对åˆé€‚çš„å•å…ƒè¿›è¡Œä¼˜å…ˆæ“作,消除了人为估计æ“作。它通过强制执行的调度规则æ¥æ高生产效率。 |
自动认è¯çš„确认 | ç¡®ä¿åªæœ‰ç»è¿‡è®¤è¯çš„员工æ‰èƒ½åœ¨è½¦é—´è¿›è¡Œè§„定的æ“作。æ“作者åªéœ€ä½¿ç”¨ç®€å•çš„æ-¹å¼æ¥æŸ¥çœ‹æŒ‡ä»¤å'Œè®°å½•æ•°æ®å'Œäº‹ä»¶ã€‚ |
自动åŒ-è´¨é‡æ£€æµ‹ | å°†å‚æ•°æ•°æ®ç»“果控制与结构åŒ-æ•°æ®ç›¸ç»“åˆï¼Œç›‘测å'Œåˆ†æžè®¾å¤‡å°±å¯ä»¥å¿«é€Ÿåœ°è§£å†³é—®é¢˜ï¼Œè¿™æ ·å°±å¯ä»¥å®¹æ˜“地é¿å…该问题的å†æ¬¡å‘生。 |
自动åŒ-è´¨é‡æŽ§åˆ¶ | æ ¹æ®"自动未æ¥ä¿æŒï¼ˆAFH)"å'Œ/æˆ-基于特定æŸå¤±ä»£ç ã€SPC失效æˆ-良率控制失效æ¥ç”Ÿæˆä¸åˆæ ¼æŠ¥å‘Š |
对ä¸åˆæ ¼å“çš„ç®¡ç† | 进行结构åŒ-的失效分æžã€æ ¹æœ¬åŽŸå› 的识别ã€éš”离å'Œæœ€ç»ˆå¤„置,æ¥é˜²æ¢äº§å“在规定处ç†æ¥éª¤ä¹‹å¤-进行å‘è´§æˆ-åŠ å·¥ï¼Œç›´åˆ°æ‰€æœ‰é—®é¢˜éƒ½å¾—åˆ°äº†è§£å†³ã€‚ |
äº‹ä»¶ç®¡ç† | 监控ä¼ä¸šç”Ÿäº§è¿‡ç¨‹ï¼Œç¡®å®šè´¨é‡äº‹æ•…,开å¯å¿…è¦çš„调查å'Œå®žæ-½è´¨é‡æŽ§åˆ¶æµç¨‹ã€‚ |
æ ‡ç¾æ‰“å° | ä¾æ®å®žé™…è§„æ ¼å'Œåˆ¶é€ æ•°æ®æ¥è‡ªåŠ¨æ‰“å°äº§å“çš„æ ‡ç¾ï¼Œç¡®ä¿æ ‡ç¾æ˜¯å‡†ç¡®çš„,是åŠæ—¶åˆ¶é€ 的产å“ï¼Œå¹¶æ˜¯ç²˜è´´åˆ°é€‚å½“çš„åŠ å·¥æ‰¹æ¬¡ã€æ™¶åœ†æˆ-å•å…ƒä¸Šã€‚ |
多ç§ç•Œé¢è¯è¨€ | èƒ½å¤Ÿæ ¹æ®ç”Ÿäº§åœ°ç‚¹çš„ä¸åŒæ¥é€‰æ‹©ä¸åŒçš„æ“作界é¢è¯è¨€ã€‚ |
晶圆ä½å›¾çš„å¯è§†åŒ- | 能够在一个晶圆产å“ä½å›¾ä¸Šæ ¹æ®å¤±æ•ˆåŽŸå› å'Œ'x/y'åæ ‡ä½ç½®æ¥æ ‡å‡ºåºŸå“ä½ç½®ç‚¹ã€‚这包括å¯ä»¥ä»Žç³»ç»Ÿæ•°æ®æˆ-使用已有ä½å›¾æ¥åŠ¨æ€åœ°å»ºç«‹æ™¶åœ†ä½å›¾ã€‚观察/ç¼-辑所å˜åœ¨çš„废弃ä½ç‚¹ã€‚ |
试验晶圆的追踪 | ç‰å¾…晶圆的æ¯åŠ 工批次到达'x'æ¥éª¤ï¼Œå¹¶ä¸”è¦ç¡®å®šå…¶æ˜¯å¦å·²ç»é€šè¿‡æ‰€éœ€çš„'y'è¦æ±‚,æ‰èƒ½è¿›è¡Œä¸‹ä¸€æ¥çš„åŠ å·¥ã€‚å¦‚æžœè¯•éªŒæ™¶åœ†é‡æ-°å›žåˆ°æ¯æ‰¹æ¬¡ä¸ï¼Œé‚£ä¹ˆä»-们就ä¸å†éœ€è¦è¿›è¡Œä»-们已ç»æˆåŠŸå®Œæˆçš„工艺æ¥éª¤ã€‚ |
è¯•éªŒæ™¶åœ†çš„ç®¡ç† | å¯ä»¥é‡‡ç”¨è¶…è¶Šæ ‡å‡†å·¥è‰ºæµç¨‹çš„规范æ¥å¯¹å·¥ç¨‹ç ”究å'ŒR&Dç”¨çš„æ™¶åœ†æ‰¹æ¬¡è¿›è¡ŒåŠ å·¥ã€‚ |
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Annie Mullen , Siemens PLM Software